工业铝型材觉得离子氮化是在真空室内，高压直流电场作用下进行的。

氮化时，要氮化的模具接高压直流电源的负报。模具的外围设置一个氧极接高压直流电源的正极，如氮化模具内孔时，在孔内放置阳极。当真空抽到快到汞柱时，向真空室内通入氨气，并调节送入的氨量，使真空室压强保持在1~10之间。

工业铝型材了解在阴阳极之间加上高压直流电后，氨气在高压电场作用下，部分电离分解成氮和氢的正离子以及电子。这是，作为阴极的模具表面覆盖着一层紫色的辉光，因而也常称为辉光粒子氮化，这是受激发后返回基态时的氮和氢原子产生的光辐射，氮和氢的正离子在高压电场作用下，快速冲向印记（即氮化模具），在正离子的轰击下，模具表面被均匀加热到所需要的温度，同时，氮的正离子在印记夺取电子后，还原为氮原子，并渗入到金属表面且向内部扩散，形成氮化层，氢的正离子在零件表面起到；了清除氧化模的作用

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